研課題
J-GLOBAL ID：202404017135000147
研究課題コード：23015704
レプリカ法による光学研磨不要な超軽量高精度CFRPミラーの開発
体系的課題番号：JPMJTT23J1
実施期間：2023 -
実施機関 (1件)：
企業責任者：
(
, CEO )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJTT23J1
研究概要：
株式会社テックラボは、CFRP表面に均一な樹脂層を形成することでプリントスルーを覆い隠すことにより、光学研磨が不要で高精度な鏡面を実現する「レプリカ法」という製法を発展させてきた。
レプリカ法ではプリントスルーのような局所的な凹凸は滑らかにすることができるが、大型LCD製造装置に用いられる3メートルを超えるバーミラーで生じるたわみなどのミラー全体の凹凸までは滑らかにすることが難しい。この課題を解決するため、熱膨張ゼロの素材の型枠を使ってCFRP全体を平坦にする成形技術を新規に開発する。
さらに、愛媛大学の粟木教授らの研究成果である、CFRP表面を薄板ガラスで積層する技術とレプリカ法を組み合わせ、プリントスルーを抑制し、超高精度な鏡面を持つ3メートルサイズの大型バーミラーを開発する。
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