次世代デバイスの品質保証のためのX線イメージングデバイスの開発

体系的課題番号：JPMJAX23K8
実施期間：2023 - 2025
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 計量標準総合センター, 研究員 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJAX23K8
研究概要：

現在、デジタル社会を支える半導体デバイスは高機能化に伴う素子の微細化および三次元化が進んでいます。今後さらに複雑化する素子の品質管理を行うためには、検査技術の高度化が必要不可欠です。本研究では透明セラミックシンチレータの合成技術を適応した高感度かつ高空間分解能のX線イメージングデバイスを開発することで、高精度かつ高効率な非破壊検査の実現を目指します。

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研究制度：＞＞
上位研究課題：リアル空間を強靭にするハードウェアの未来
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

報告書等：

2023 年次報告書

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