研課題
J-GLOBAL ID：202404017892953313
研究課題コード：23829933
計測データ駆動型薄膜プロセス最適化システムの開発
体系的課題番号：JPMJCR2336
実施期間：2023 - 2028
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 大学院工学研究科, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR2336
研究概要：
強相関電子系材料の単結晶基板上でのヘテロエピ薄膜成長を念頭に、先端マルチ計測、モンテカルロシミュレーション、ベイズ最適化によって加速的に薄膜作製プロセスの最適化を実現する計測データ駆動型薄膜プロセス最適化システムを開発します。さらに、開発した最適化システムの技術移植性を複数成膜装置において実証し、多層膜、ナノコンポジット薄膜、および実用エネルギー材料へのユースケース展開を行います。
タイトルに関連する用語 (5件)：
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上位研究課題：
社会課題解決を志向した革新的計測・解析システムの創出
研究所管機関：
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