MEMS差圧センサ素子を利用した波高センサの研究開発

体系的課題番号：JPMJST2458
実施期間：2024 - 2024
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 理工学部, 准教授 )
研究概要：

超高感度なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の1種、ピエゾ抵抗型カンチレバーをセンサ素子とする差圧センサを利用して、低価格化・低消費電力化・小型化という課題を解決する波高センサを開発する。さらに、製品化が可能なレベルのデバイスの開発によって、MEMS差圧センサのアプリケーションの実用化を行う企業への技術移転を目指す。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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