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著者 (5件)：
資料名：
巻： 1990 号： Autumn 3 ページ： 1053-1054 発行年： 1990年09月
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902000644834710
整理番号：90A0881882
パラレルリンクを用いた微動ステージの開発 (第2報) システム構成と制御特性
Development of a quiver stage using a parallel link.(2).System configuration and control characteristic.
冨田良幸
(住友重機械工業)
,
小平一穂
(住友重機械工業)
,
小梁川靖
(住友重機械工業)
,
佐藤文昭
(住友重機械工業)
,
伊藤一博
(住友重機械工業)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1990 号： Autumn 3 ページ： 1053-1054 発行年： 1990年09月
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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