文献
J-GLOBAL ID:200902003458362778
整理番号:91A0927924
高パルス繰返し速度及び高平均出力のエキシマレーザシステムの設計と特性
Design and Characteristics of High Pulse Repetition Rate and High Average Power Excimer Laser Systems.
著者 (4件):
SENTIS M L
(Univ. Aix-Marseille, Marseille, FRA)
,
DELAPORTE P
(Univ. Aix-Marseille, Marseille, FRA)
,
FORESTIER B M
(Univ. Aix-Marseille, Marseille, FRA)
,
FONTAINE B L
(Univ. Aix-Marseille, Marseille, FRA)
資料名:
IEEE Journal of Quantum Electronics
(IEEE Journal of Quantum Electronics)
巻:
27
号:
10
ページ:
2332-2339
発行年:
1991年10月
JST資料番号:
H0432A
ISSN:
0018-9197
CODEN:
IEJQA7
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)