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著者 (4件)：
資料名：
巻： 54 号： 8 ページ： 4590-4595 発行年： 1983年08月
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902003471824438
整理番号：84A0273339
高周波プラズマ蒸着による非晶質水素化硬質炭素薄膜 作製,特性および応用
rf-Plasma deposited amorphous hydrogenated hard carbon thin films: Preparation, properties, and applications.
BUBENZER A
(Fraunhofer-Inst. Angewandte Festkoerperphysik, West Germany)
,
DISCHLER B
(Fraunhofer-Inst. Angewandte Festkoerperphysik, West Germany)
,
BRANDT G
(Fraunhofer-Inst. Angewandte Festkoerperphysik, West Germany)
,
KOIDL P
(Fraunhofer-Inst. Angewandte Festkoerperphysik, West Germany)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 54 号： 8 ページ： 4590-4595 発行年： 1983年08月
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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