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著者 (2件)：
資料名：
ページ： 40-41 発行年： 1990年
JST資料番号： K19900617 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902004571830628
整理番号：90A0606329
原型のマイクロバルブアクチュエータ
Prototype micro-valve actuator.
BUSCH J D
(TiNi Alloy Co., CA)
,
JOHNSON A D
(TiNi Alloy Co., CA)
資料名：
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990
(Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990)
ページ： 40-41 発行年： 1990年
JST資料番号： K19900617 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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