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著者 (4件)：
資料名：
巻： 43 号： 11 ページ： 1076-1078 発行年： 1983年12月01日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902004975484170
整理番号：84A0287697
XeClレーザを用いた金属膜の除去とパターン形成
Metal film removal and patterning using a XeCl laser.
ANDREW J E
(Univ. Hull, United Kingdom)
,
DYER P E
(Univ. Hull, United Kingdom)
,
GREENOUGH R D
(Univ. Hull, United Kingdom)
,
KEY P H
(Univ. Hull, United Kingdom)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 43 号： 11 ページ： 1076-1078 発行年： 1983年12月01日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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