文献
J-GLOBAL ID:200902012178853619
整理番号:91A0232956
Znの事前蒸着法のGaAs/AlGaAs系ヘテロバイポーラトランジスタへの利用
A Zn predeposition technique applied to GaAs/AlGaAs heterobipolar transistors.
著者 (3件):
SHIMAMOTO Y
(Matsushita Electronics Corp., Osaka, JPN)
,
ITAKURA K
(Matsushita Electronics Corp., Osaka, JPN)
,
UEDA D
(Matsushita Electronics Corp., Osaka, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
8
号:
6
ページ:
1260-1263
発行年:
1990年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)