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著者 (3件)：
資料名：
巻： 25 号： 3 ページ： 371-375 発行年： 1986年03月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902013522595302
整理番号：86A0310181
シリコン上の薄いZnO/SiO2ダイヤフラム使用のUHF弾性実体波フィルタ
UHF bulk-acoustic-wave filters utilizing thin ZnO/SiO2-diaphragms on silicon.
NAKAMURA K
(Tohoku Univ.)
,
OHASHI Y
(Tohoku Univ.)
,
SHIMIZU H
(Tohoku Univ.)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 25 号： 3 ページ： 371-375 発行年： 1986年03月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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