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著者 (3件)：
資料名：
巻： 1466 ページ： 368-376 発行年： 1991年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902013922875606
整理番号：91A0776319
Non-metallic acid generators for i-line and g-line chemically amplified resists.
BRUNSVOLD W
(IBM General Technology Division, NY)
,
MONTGOMERY W
(IBM General Technology Division, NY)
,
HWANG B
(IBM General Technology Division, NY)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1466 ページ： 368-376 発行年： 1991年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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