文献
J-GLOBAL ID:200902014418316350
整理番号:90A0434257
昇華,相転移,ホモエピタクシー中の清浄シリコン表面における構造変態の反射電子顕微鏡研究
Reflection electron microscopy study of structural transformations on a clean silicon surface in sublimation, phase transition and homoepitaxy.
著者 (4件):
LATYSHEV A V
(Inst. Semiconductor Physics, Academy of Sciences of the USSR, Novosibirsk, SUN)
,
ASEEV A L
(Inst. Semiconductor Physics, Academy of Sciences of the USSR, Novosibirsk, SUN)
,
KRASILNIKOV A B
(Inst. Semiconductor Physics, Academy of Sciences of the USSR, Novosibirsk, SUN)
,
STENIN S I
(Inst. Semiconductor Physics, Academy of Sciences of the USSR, Novosibirsk, SUN)
資料名:
Surface Science
(Surface Science)
巻:
227
号:
1/2
ページ:
24-34
発行年:
1990年03月
JST資料番号:
C0129B
ISSN:
0039-6028
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)