文献
J-GLOBAL ID:200902015120134085
整理番号:92A0227598
非平衡空間プラズマによる化学処理
Nonequilibrium Volume Plasma Chemical Processing.
著者 (2件):
ELIASSON B
(Asea Brown Boveri Corporate Research, Baden, CHE)
,
KOGELSCHATZ U
(Asea Brown Boveri Corporate Research, Baden, CHE)
資料名:
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻:
19
号:
6
ページ:
1063-1077
発行年:
1991年12月
JST資料番号:
D0036B
ISSN:
0093-3813
CODEN:
ITPSBD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)