文献
J-GLOBAL ID:200902015522060827
整理番号:86A0404441
シリコンの表面粗さ 反射電子顕微鏡による構造観察
Silicon surface roughness - Structural observation by reflection electron microscopy.
著者 (3件):
HONDA K
(Fujitsu Lab. Ltd., Kawasaki)
,
OHSAWA A
(Fujitsu Lab. Ltd., Kawasaki)
,
TOYOKURA N
(Fujitsu Lab. Ltd., Kawasaki)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
48
号:
12
ページ:
779-781
発行年:
1986年03月24日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)