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文献
J-GLOBAL ID:200902016540244036   整理番号:90A0742584

原子間力顕微鏡のための片持ち梁針の微細加工

Microfabrication of cantilever styli for the atomic force microscope.
著者 (4件):
ALBRECHT T R
(Stanford Univ., California)
AKAMINE S
(Stanford Univ., California)
CARVER T E
(Stanford Univ., California)
QUATE C F
(Stanford Univ., California)

資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

巻:号:ページ: 3386-3396  発行年: 1990年07月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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