文献
J-GLOBAL ID:200902016540244036
整理番号:90A0742584
原子間力顕微鏡のための片持ち梁針の微細加工
Microfabrication of cantilever styli for the atomic force microscope.
著者 (4件):
ALBRECHT T R
(Stanford Univ., California)
,
AKAMINE S
(Stanford Univ., California)
,
CARVER T E
(Stanford Univ., California)
,
QUATE C F
(Stanford Univ., California)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
8
号:
4
ページ:
3386-3396
発行年:
1990年07月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)