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著者 (3件)：
資料名：
巻： 9 号： 1 ページ： 1-51 発行年： 1992年12月
JST資料番号： T0341A ISSN： 0920-2307 CODEN： MSREEL 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902017201847763
整理番号：93A0156511
ULSI用の銅基メタライゼーションにおける,銅の堆積との熱安定性の問題点
Copper deposition and thermal stability issues in copper-based metallization for ULSI technology.
LI J
(Cornell Univ., NY, USA)
,
SHACHAM-DIAMAND Y
(Cornell Univ., NY, USA)
,
MAYER J W
(Arizona State Univ., AZ, USA)
資料名：
Materials Science Reports
(Materials Science Reports)
巻： 9 号： 1 ページ： 1-51 発行年： 1992年12月
JST資料番号： T0341A ISSN： 0920-2307 CODEN： MSREEL 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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