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著者 (4件)：
資料名：
巻： 13 号： 1 ページ： 116-123 発行年： 1990年07月
JST資料番号： H0030B ISSN： 0278-6826 CODEN： ASTYDQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902017712958253
整理番号：90A0853239
粒子の静電除去による表面の清浄化
Surface cleaning by electrostatic removal of particles.
COOPER D W
(IBM Research Division, NY)
,
WOLFE H L
(IBM Research Division, NY)
,
YEH J T C
(IBM Research Division, NY)
,
MILLER R J
(IBM Research Division, NY)
資料名：
Aerosol Science and Technology
(Aerosol Science and Technology)
巻： 13 号： 1 ページ： 116-123 発行年： 1990年07月
JST資料番号： H0030B ISSN： 0278-6826 CODEN： ASTYDQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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