文献
J-GLOBAL ID:200902018221118063
整理番号:89A0059984
NO2ガスセンサとしての無線周波数マグネトロンスパッタリング法を用いたインジウム-酸化すず(ITO)薄膜の成長と特性測定
Radio frequency magnetron sputtering growth and characterization of indium-tin oxide (ITO) thin films for NO2 gas sensors.
著者 (3件):
SBERVEGLIERI G
(Univ. Parma, Parma, ITA)
,
GROPPELLI S
(Univ. Parma, Parma, ITA)
,
COCCOLI G
(Inst. Castelli, Brescia, ITA)
資料名:
Sensors and Actuators (Lausanne)
(Sensors and Actuators (Lausanne))
巻:
15
号:
3
ページ:
235-242
発行年:
1988年11月
JST資料番号:
B0345B
ISSN:
0250-6874
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)