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著者 (4件)：
資料名：
巻： 21 号： 1/3 ページ： 328-331 発行年： 1990年02月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902021107956629
整理番号：90A0638053
多結晶横方向共振器の静電型くしの駆動
Electrostatic-comb drive of lateral polysilicon resonators.
TANG W C
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
,
NGUYEN T-C
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
,
JUDY M W
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
,
HOWE R T
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 21 号： 1/3 ページ： 328-331 発行年： 1990年02月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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