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著者 (3件)：
資料名：
巻： 10 号： 6 ページ： 2615-2619 発行年： 1992年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902022701000370
整理番号：93A0190275
Acid-diffusion effect on nanofabrication in chemical amplification resist.
YOSHIMURA T
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
NAKAYAMA Y
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
OKAZAKI S
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 10 号： 6 ページ： 2615-2619 発行年： 1992年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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