文献
J-GLOBAL ID:200902023974469679
整理番号:89A0141652
ポリシリコンのピエゾ抵抗と歪計への応用
Piezoresistance in polysilicon and its applications to strain gauges.
著者 (2件):
FRENCH P J
(Delft Univ. Technology, Delft, NLD)
,
EVANS A G R
(Univ. Southampton, Southampton, GBR)
資料名:
Solid-State Electronics
(Solid-State Electronics)
巻:
32
号:
1
ページ:
1-10
発行年:
1989年01月
JST資料番号:
H0225A
ISSN:
0038-1101
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)