文献
J-GLOBAL ID:200902025217207562
整理番号:91A0233003
軟X線投影リソグラフィーのための反射鏡系の設計研究
Reflective systems design study for soft x-ray projection lithography.
著者 (3件):
JEWELL T E
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
RODGERS J M
(Optical Research Assoc., California)
,
THOMPSON K P
(Optical Research Assoc., California)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
8
号:
6
ページ:
1519-1523
発行年:
1990年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)