文献
J-GLOBAL ID:200902026015258587
整理番号:88A0101828
結晶性Si基板上での非晶質Si薄膜の計算機シミュレーション
Computer simulation of thin amorphous Si films on crystalline Si substrates.
著者 (3件):
ERKOC S
(Middle-East Technical Univ., Ankara, TUR)
,
HALICIOGLU T
(Stanford Univ., CA, USA)
,
TILLER W A
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名:
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻:
94
号:
1
ページ:
28-35
発行年:
1987年10月
JST資料番号:
D0642A
ISSN:
0022-3093
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)