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著者 (2件)：
資料名：
巻： 23 号： 24 ページ： 4544-4553 発行年： 1984年12月15日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902026785484143
整理番号：85A0191363
走査差動ac干渉計による表面形状測定
Surface profile measurement with a scanning differential ac interferometer.
MAKOSCH G
(IBM Deutschland GmbH, Federal Republic of Germany)
,
DROLLINGER B
(IBM Deutschland GmbH, Federal Republic of Germany)
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 23 号： 24 ページ： 4544-4553 発行年： 1984年12月15日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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