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著者 (3件)：
資料名：
巻： 9 号： 2 Pt 2 ページ： 1353-1357 発行年： 1991年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902031245262170
整理番号：91A0608968
走査型力顕微鏡用のシリコンセンサの微細加工
Micromachined silicon sensors for scanning force microscopy.
WOLTER O
(IBM Germany, Sindelfingen, DEU)
,
BAYER T
(IBM Germany, Sindelfingen, DEU)
,
GRESCHNER J
(IBM Germany, Sindelfingen, DEU)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 9 号： 2 Pt 2 ページ： 1353-1357 発行年： 1991年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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