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文献
J-GLOBAL ID:200902031539324769   整理番号:86A0210625

光学式非接触プローブの研究 II 小型一体化プローブ

An optical non-contacting probe. (2nd report) Experiments on a miniaturized one body probe.
著者 (2件):
長田秀治
(東京工大精密工研)
下河辺明
(東京工大精密工研)

資料名:
精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻: 51  号: 12  ページ: 2271-2276  発行年: 1985年12月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0374-3543  CODEN: SEKIA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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