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著者 (2件)：
資料名：
巻： 8 号： 3 ページ： 563-567 発行年： 1990年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902033727032310
整理番号：90A0649249
シリコンウエハからの炭化水素やシリコングリースの汚れの除去
The removal of hydrocarbons and silicone grease stains from silicon wafers.
SHERMAN R
(BOC Group, Inc., New Jersey)
,
WHITLOCK W
(BOC Group, Inc., New Jersey)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 8 号： 3 ページ： 563-567 発行年： 1990年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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