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著者 (2件)：
資料名：
巻： 1507 ページ： 81-93 発行年： 1991年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902034059162296
整理番号：92A0056552
Micro grating device using electron-beam lithography.
YAMASHITA T
(Omron Corp., Kyoto, JPN)
,
AOYAMA S
(Omron Corp., Kyoto, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1507 ページ： 81-93 発行年： 1991年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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