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資料名：
巻： 68 号： 11 ページ： 1782-1785 発行年： 1992年03月16日
JST資料番号： H0070A ISSN： 0031-9007 CODEN： PRLTAO 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902034269126640
整理番号：92A0277167
シリコン酸化中における界面伝搬の動的観察
Dynamic Observations of Interface Propagation during Silicon Oxidation.
ROSS F M
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
GIBSON J M
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
資料名：
Physical Review Letters
(Physical Review Letters)
巻： 68 号： 11 ページ： 1782-1785 発行年： 1992年03月16日
JST資料番号： H0070A ISSN： 0031-9007 CODEN： PRLTAO 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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