文献
J-GLOBAL ID:200902034796278173
整理番号:87A0319118
1μmクロスライン接合法
A 1μm cross-line junction process.
著者 (5件):
AOYAGI M
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
SHOJI A
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
KOSAKA S
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
SHINOKI F
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
HAYAKAWA H
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
資料名:
Advances in Cryogenic Engineering
(Advances in Cryogenic Engineering)
巻:
32
ページ:
557-563
発行年:
1986年
JST資料番号:
E0769A
CODEN:
ACYEA
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)