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J-GLOBAL ID：200902035428540549 整理番号：88A0395603

膜蒸着中のイオンビーム照射効果

Ion beam bombardment effects during film deposition.

著者 (2件)：

ROSSNAGEL S M

(IBM T J Watson Research Center, NY, USA)

CUOMO J J

(IBM T J Watson Research Center, NY, USA)

資料名：

Vacuum (Vacuum)

巻： 38 号： 2 ページ： 73-81 発行年： 1988年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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