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著者 (1件)：
資料名：
巻： 4 号： 6 ページ： 3059-3065 発行年： 1986年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902035803965102
整理番号：87A0244403
スパッタリングで蒸着した被覆膜の微細構造
The microstructure of sputter-deposited coatings.
THORNTON J A
(Univ. Illinois, IL, USA)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 4 号： 6 ページ： 3059-3065 発行年： 1986年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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