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資料名：
巻： 63 号： 6 ページ： 2098-2103 発行年： 1988年03月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902036071419947
整理番号：88A0595404
対面ターゲットスパッタ法による良好な配向性を持った酸化亜鉛膜の反応合成
Reactive synthesis of well-oriented zinc-oxide films by means of the facing targets sputtering method.
MATSUOKA M
(NTT Electrical Communications Lab., Ibaraki, JPN)
,
HOSHI Y
(Tokyo Inst. Polytechnics, Atsugi-shi, JPN)
,
NAOE M
(Tokyo Inst. Technology, Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 63 号： 6 ページ： 2098-2103 発行年： 1988年03月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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