Sorry, this section is only available in Japanese.
前のページに戻る この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写(冊子体のコピー)をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID:200902038385184203   整理番号:91A0854460

電子サイクロトロン共鳴プラズマ中で成長させた二酸化けい素のカイネティクスと電気的特性に及ぼすdcバイアスの効果

Effects of dc bias on the kinetics and electrical properties of silicon dioxide grown in an electron cyclotron resonance plasma.
著者 (4件):
CARL D A
(Univ. California, California)
HESS D W
(Univ. California, California)
LIEBERMAN M A
(Univ. California, California)
NGUYEN T D
(Univ. California, California)

資料名:
Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)

巻: 70  号:ページ: 3301-3313  発行年: 1991年09月15日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写(コピー)して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写(コピー)は郵送またはFAXでお送りします

※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。