文献
J-GLOBAL ID:200902038765485494
整理番号:89A0464666
薄膜堆積への粒子衝撃効果 概説
Particle bombardment effects on thin-film deposition: A review.
著者 (1件):
MATTOX D M
(Sandia National Lab., NM, USA)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
7
号:
3 Pt.1
ページ:
1105-1114
発行年:
1989年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)