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資料名：
巻： 24 号： 5 ページ： 631-637 発行年： 1980年09月
JST資料番号： D0061B ISSN： 0018-8646 CODEN： IBMJAE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902040221949017
整理番号：81A0083167
シリコンを用いたねじれスキャンニングミラー
Silicon torsional scanning mirror.
PETERSEN K E
資料名：
IBM Journal of Research and Development
(IBM Journal of Research and Development)
巻： 24 号： 5 ページ： 631-637 発行年： 1980年09月
JST資料番号： D0061B ISSN： 0018-8646 CODEN： IBMJAE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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