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著者 (2件)：
資料名：
巻： 134 号： 7 ページ： 1763-1771 発行年： 1987年07月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902041038370928
整理番号：87A0486812
シリコンウエハのレーザ走査における粒子サイズ測定の不確定性 Aeroncaウエハ検査システム150の校正/評価
Particle sizing uncertainties in laser scanning of silicon wafers. Calibration/evaluation of the Aeronca wafer inspection system 150.
LOCKE B R
(Research Triangle Inst., NC, USA)
,
DONOVAN R P
(Research Triangle Inst., NC, USA)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 134 号： 7 ページ： 1763-1771 発行年： 1987年07月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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