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資料名：
巻： 66 号： 11 ページ： 5251-5257 発行年： 1989年12月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902041640135360
整理番号：90A0097621
CF4rfプラズマ中のCF2,CFラジカルの空間および時間分解レーザ励起蛍光の測定
Spatially and temporally resolved laser-induced fluorescence measurements of CF2 and CF radicals in a CF4rf plasma.
BOOTH J P
(Oxford Univ., Oxford, GBR)
,
HANCOCK G
(Oxford Univ., Oxford, GBR)
,
PERRY N D
(Oxford Univ., Oxford, GBR)
,
TOOGOOD M J
(Oxford Univ., Oxford, GBR)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 66 号： 11 ページ： 5251-5257 発行年： 1989年12月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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