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文献
J-GLOBAL ID:200902041929342178   整理番号:91A0608814

2個のトンネルユニットを用いたSTM(DTU-STM)による測長機能と位置制御の実証のための結晶格子の活用

Crystalline lattice for metrological applications and positioning control by a dual tunneling-unit scanning tunneling microscope.
著者 (4件):
KAWAKATSU H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
HOSHI Y
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
HIGUCHI T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
KITANO H
(Matsushita Electric Works, Osaka, JPN)

資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

巻:号: 2 Pt 2  ページ: 651-654  発行年: 1991年03月 
JST資料番号: E0974A  ISSN: 1071-1023  CODEN: JVTBD9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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