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著者 (4件)：
資料名：
巻： 9 号： 2 Pt 2 ページ： 651-654 発行年： 1991年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902041929342178
整理番号：91A0608814
2個のトンネルユニットを用いたSTM(DTU-STM)による測長機能と位置制御の実証のための結晶格子の活用
Crystalline lattice for metrological applications and positioning control by a dual tunneling-unit scanning tunneling microscope.
KAWAKATSU H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HOSHI Y
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HIGUCHI T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KITANO H
(Matsushita Electric Works, Osaka, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 9 号： 2 Pt 2 ページ： 651-654 発行年： 1991年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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