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資料名：
巻： 20 号： 1/2 ページ： 49-55 発行年： 1989年11月15日
JST資料番号： B0345B ISSN： 0250-6874 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902042000455829
整理番号：90A0193550
ICプロセスによる静電的同期マイクロモータ
IC-Processed electrostatic synchronous micromotors.
TAI Y-C
(Univ. California, CA, USA)
,
MULLER R S
(Univ. California, CA, USA)
資料名：
Sensors and Actuators (Lausanne)
(Sensors and Actuators (Lausanne))
巻： 20 号： 1/2 ページ： 49-55 発行年： 1989年11月15日
JST資料番号： B0345B ISSN： 0250-6874 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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