文献
J-GLOBAL ID:200902042729228504
整理番号:82A0176060
rf反応性マグネトロンスパッタリングによる透明かつ高伝導性のZnO膜
Transparent and highly conductive films of ZnO prepared by rf reactive magnetron sputtering.
著者 (3件):
WEBB J B
(National Research Council, Ottawa)
,
WILLIAMS D F
(National Research Council, Ottawa)
,
BUCHANAN M
(National Research Council, Ottawa)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
39
号:
8
ページ:
640-642
発行年:
1981年10月15日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)