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著者 (5件)：
資料名：
巻： 62 号： 11 ページ： 4591-4596 発行年： 1987年12月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902043584952086
整理番号：88A0223047
材料の表面変性のためのプラズマ源イオン注入法
Plasma source ion-implantation technique for surface modification of materials.
CONRAD J R
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
RADTKE J L
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
DODD R A
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
WORZALA F J
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
TRAN N C
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 62 号： 11 ページ： 4591-4596 発行年： 1987年12月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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