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著者 (5件)：
資料名：
巻： 1 号： 4 ページ： 915-922 発行年： 1983年10月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902043744604381
整理番号：84A0246494
W,Ni,Pt表面におけるけい化物形成の初期段階の原子プローブおよび電界イオン顕微鏡による研究
Early stages of silicide formation on W,Ni, and Pt surfaces, an atom probe, and field ion microscope study.
TSONG T T
(Pennsylvania State Univ.)
,
WANG S C
(Pennsylvania State Univ.)
,
LIU F H
(Pennsylvania State Univ.)
,
CHENG H
(Pennsylvania State Univ.)
,
AHMAD M
(Pennsylvania State Univ.)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 1 号： 4 ページ： 915-922 発行年： 1983年10月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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