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著者 (5件)：
資料名：
巻： 9 号： 4 ページ： 2408-2409 発行年： 1991年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902044139216325
整理番号：91A0704190
汎用低圧オゾン源
A versatile low-pressure ozone source.
COLEMAN E
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
SIEGRIST T
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
MIXON D A
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
TREVOR P L
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
TREVOR D J
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 9 号： 4 ページ： 2408-2409 発行年： 1991年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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