文献
J-GLOBAL ID:200902045550005552
整理番号:85A0256018
イオン注入中の絶縁体表面の電位に対する二次電子の影響
Secondary electron effect on electric potential of insulator surface during ion implantation.
著者 (5件):
YOSHIZAWA M
(Atsugi Electrical Communication Lab.)
,
MIYAKE M
(Atsugi Electrical Communication Lab.)
,
HARADA H
(Atsugi Electrical Communication Lab.)
,
KIUCHI K
(Atsugi Electrical Communication Lab.)
,
TAZAWA S
(Atsugi Electrical Communication Lab.)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
132
号:
3
ページ:
680-684
発行年:
1985年03月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)