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著者 (4件)：
資料名：
ページ： 1-8 発行年： 1990年
JST資料番号： K19900617 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902045589214841
整理番号：90A0606322
マイクロ加工高調波型並びに通常型の側面駆動モータの動作
Operation of microfabricated harmonic and ordinary side-drive motors.
MEHREGANY M
(Massachusetts Inst. Technology, Ma.)
,
NAGARKAR P
(Massachusetts Inst. Technology, Ma.)
,
SENTURIA S D
(Massachusetts Inst. Technology, Ma.)
,
LANG J H
(Massachusetts Inst. Technology, Ma.)
資料名：
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990
(Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990)
ページ： 1-8 発行年： 1990年
JST資料番号： K19900617 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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