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文献
J-GLOBAL ID:200902046772410443   整理番号:91A0561550

Fabrication of assembled micromechanical components via deep X-ray lithography.

著者 (7件):
GUCKEL H
(Univ. Wisconsin, WI)
SKROBIS K J
(Univ. Wisconsin, WI)
CHRISTENSON T R
(Univ. Wisconsin, WI)
KLEIN J
(Univ. Wisconsin, WI)
HAN S
(Univ. Wisconsin, WI)
CHOI B
(Univ. Wisconsin, WI)
LOVELL E G
(Univ. Wisconsin, WI)

資料名:
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991  (Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991)

ページ: 74-79  発行年: 1991年 
JST資料番号: K19910274  ISBN: 0-87942-642-X  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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