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著者 (1件)：
資料名：
巻： 42 号： 5/6 ページ： 333-340 発行年： 1991年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902048488596408
整理番号：91A0263995
SIMOXの歴史的展望
Historical overview of SIMOX.
IZUMI K
(NTT LSI Lab., Atsugi-shi, JPN)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 42 号： 5/6 ページ： 333-340 発行年： 1991年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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