文献
J-GLOBAL ID:200902048588431856
整理番号:93A0773816
高精密測定における格子干渉計の技術と応用
Technology and applications of grating interferometers in high-precision measurement.
著者 (1件):
TEIMEL A
(Dr. Johannes Heidenhahn GmbH, Traunreut, DEU)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
14
号:
3
ページ:
147-154
発行年:
1992年07月
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)